이미지 확대보기25일 SK하이닉스 뉴스룸에 따르면 SK하이닉스는 새로 짓고 있는 M15X 팹(Fab)과 용인 클러스터에 신규 저전력 펌프를 전량 도입할 예정이다. 펌프는 반도체 공정에서 고(高)진공 환경을 만들어 불순물을 제거하는 장비로 반도체의 품질과 수율을 결정하는 핵심적인 역할을 한다. 실제 펌프 구동을 위해 사용되는 전력은 팹 전체 소비 전력의 15% 내외다.
2022년 '탄소관리위원회'를 출범한 SK하이닉스는 12개의 세부 분과를 통해 2050년 넷제로 달성을 위한 온실가스 배출 저감 활동을 추진중이다. 이중 저전력 펌프 도입 분과는 모터, 소재, 구조 등의 변경과 신규 아키텍처 도입을 통해 신규 저전력 펌프 개발에 성공한 것이다.
SK하이닉스는 신규 저전력 펌프 도입을 위해 1분기부터 평가를 시작한 데 이어 3분기부터 신규 투자를 통해 기존 운영 중인 팹에 도입하고 있다고 설명했다. 추후 신규 저전력 펌프 도입을 더욱 확대할 계획이다. 식각공정의 펌프 용량을 기존 3만ℓ에서 2만ℓ로 줄여도 반도체 품질과 수율에 큰 차이가 없다는 평가 결과를 도출하고 3분기부터 진행된 식각공정 신규 투자에는 저전력 펌프를 도입하는 것뿐 아니라 펌프 용량까지 줄여 저전력 효과를 극대화하고 있다.
현재 지어지는 신규 팹의 경우 기존 운영 중인 M14 팹의 메인 프로세스 공정 기준으로 전력 소비량을 추산하면 기존 펌프 사용시 전력 소비량 대비 39.7%가량 저감할 수 있다.
SK하이닉스 관계자는 "전력 소비 감소는 결국 전력 생산을 위한 탄소 배출 저감으로 이어지는 만큼 스코프2(간접 배출) 배출량 감축에도 크게 기여할 것"이라며 "탄소 배출 저감과 더불어 투자비와 수리비, 운영비 등을 절약할 수 있다"고 말했다.
장용석 글로벌이코노믹 기자 jangys@g-enews.com
