中, 日 반도체 핵심 특수가스에 최대 99.2% '반덤핑 보증금' 철퇴

미국을 필두로 한 서방 진영의 대중국 반도체 장비·기술 통제에 일본이 적극 동참하고 있는 가운데, 중국 정부가 첨단 반도체 제조 공정의 필수 화학 소재인 일본산 ‘디클로로실란(Dichlorosilane·DCS)’에 대해 최대 99.2%에 달하는 고율의 예비 반덤핑 조치를 전격 부과했다.

세계 최대의 실리콘 웨이퍼와 반도체 소재 기업인 일본 신에쓰화학(Shin-Etsu Chemical) 등을 직접 겨냥한 조치로, 9월 8일부터 중국 세관을 통과하는 일본산 디클로로실란 수입업체들은 수입액에 육박하는 막대한 현금 보증금을 의무적으로 공탁해야 한다. 사실상 100%에 달하는 징벌적 관세를 선제 적용한 셈이어서 한·중·일 반도체 소재 공급망에 파장이 일고 있다.
9월 7일(현지시각) 일본 종합 경제 미디어 닛케이 아시아(Nikkei Asia) 보도에 따르면, 중국 상무부는 공식 성명을 통해 일본산 디클로로실란 수입품에 대한 반덤핑 조사 결과 덤핑 사실과 자국 산업의 실질적 피해가 인정된다는 예비 판정을 내리고 임시 반덤핑 조치를 시행한다고 발표했다.

이에 따라 9월 8일부터 일본산 디클로로실란을 수입하는 모든 업체는 중국 해관(세관)에 각 제조사별로 책정된 덤핑 마진율에 해당하는 현금 보증금을 납부해야 통관이 허용된다.

신에쓰화학 99.2%·데날실란 80.8%… 日 주요 제조사 직격

중국 상무부가 지정한 업체별 예비 보증금 부과율은 파격적인 수준이다.
신에쓰화학(Shin-Etsu Chemical)에는 99.2%, 데날 실란(Denal Silane)에는 80.8%, 기타 일본 생산업체에도 99.2%를 부과했다.

보증금 산정 방식은 세관 과세 가격에 보증금 비율을 곱한 뒤 수입 단계 부가가치세율까지 가산하는 방식이어서, 일본산 소재를 수입해 사용하는 중국 내 파운드리 및 칩 제조사들의 원가 부담은 단숨에 두 배 이상으로 치솟게 된다.

이번 조치는 지난 1월 7일 중국 내 관련 업계의 제소를 접수한 상무부가 8개월간 조사를 진행한 끝에 내려졌다.

중국 상무부 대변인은 "예비 조사 증거에 따르면 일본산 덤핑 수입품으로 인해 국내 산업이 실질적인 피해를 입었으며, 덤핑과 피해 사이에 명백한 인과관계가 성립한다"고 밝혔다.
향후 본조사를 거쳐 최종 판정이 내려지기 전까지 해당 보증금은 유지되며, 최종 덤핑 관세가 확정될 경우 보증금은 관세로 전액 귀속된다.

로직·메모리 박막 증착 핵심 가스… 자국산 대체 가속 노림수

디클로로실란은 상온·상압에서 무색의 가연성·독성 특수가스로, 반도체 팹(Fab) 제조 공정 중 '화학기상증착(CVD)' 및 에피택셜(Epitaxial) 박막 형성의 필수 전구체로 사용된다.

시스템 반도체(로직 칩)와 D램·낸드플래시 등 첨단 메모리는 물론 아날로그 반도체의 실리콘 질화막, 실리콘 산화막, 폴리실리콘 박막을 웨이퍼 표면에 균일하게 입히는 핵심 소재다. 또한, 차세대 전력 반도체로 각광받는 탄화규소(SiC) 박막 및 실리콘계 전구체 합성에도 광범위하게 투입된다.

일본 기업들은 순도 99.999%(5N) 이상의 고순도 디클로로실란 시장에서 독보적인 기술력과 점유율을 과시해 왔다.

업계에서는 이번 중국의 초강경 조치가 표면적으로는 무역 구제 형식을 취하고 있지만, 실질적으로는 '일본산 수입 가격을 강제로 인상시켜 자국 파운드리들의 국산 소재(국산화 대체재) 채택 속도를 단축하려는 전략'인 동시에 '대미 반도체 수출 규제에 보조를 맞춰 온 일본을 향한 경제적 맞불'로 풀이하고 있다.

중국 정부의 이번 일본산 디클로로실란 보증금 철퇴는, 향후 ‘미국의 첨단 장비 통제에 맞서 중국이 일본의 핵심 반도체 소재를 역으로 타깃 삼아 글로벌 공급망을 흔드는 치열한 자원·소재 무기화 공방전’인 동시에 ‘단기적 수급 비용 상승을 감수하면서까지 기초 반도체 화학 원자재의 100% 자립화를 완수하려는 베이징의 공격적인 공급망 내재화 승부수’로 작용할 전망이다.


신경원 글로벌이코노믹 기자 shincm@g-enews.com