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일본이 수출규제한 포토레지스트 미국 기업이 만든다

이정선 기자

기사입력 : 2020-01-09 11:00

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산업통상자원부는 글로벌 화학소재 기업인 듀폰이 일본의 수출규제 품목 가운데 하나인 자외선(EUV)용 포토레지스트(감광제) 개발·생산시설을 국내에서 구축에 나선다고 밝혔다.

성윤모 산업부 장관은 8일(현지시간) 미국 현지에서 존 켐프 듀폰 사장과 면담을 통해 이런 내용을 골자로 하는 한국 투자를 확정했다.

듀폰은 반도체용 포토레지스트와 능동형유기발광다이오드(AMOLED) 및 화학제품 등을 생산하는 기업으로 현재 전 세계 70여개 국에 163개 자회사를 보유하고 있다.

이날 켐프 사장은 장상현 코트라 인베스트 코리아 대표에게 2800만 달러 규모의 투자신고서를 제출했다.

투자계획에 따르면 듀폰은 내년까지 충남 천안에 EUV용 포토레지스트 개발 개발·생산과 반도체 웨이퍼(기판) 연마재인 CMP 패드 생산을 위한 시설을 구축하게 된다.

EUV용 포토레지스트는 웨이퍼 위에 패턴을 형성하는 포토 리소그래피 공정에 사용되는 감광성 재료로 파장이 짧을수록 미세화 공정에 유리하다.

듀폰은 한국 자회사인 롬엔드하스전자재료코리아를 통해 1998년부터 천안에 2개 공장을 가동, 반도체 회로기판용 소재·부품을 생산해왔다.

현재 생산 제품은 불화크립톤(KrF), 불화아르곤(ArF) 포토레지스트, 빛반사방지막제, 금속박막도금, 유전체, 클리닝 화학제품 등이다.

듀폰은 이번 투자를 통해 반도체 극소형화에 필요한 차세대 제품·기술 개발과 공급 다변화 요구에 대응할 계획이다.

산업부는 지난해 7월 일본 정부의 수출규제 조치 이후 핵심 소재·부품·장비에 대한 공급 안정화를 위해 듀폰과 직접 접촉해 투자유치를 협의해왔다.


이정선 글로벌이코노믹 기자 jslee@g-enews.com