중국, 반도체 장비 국산화율 35% 돌파…미국 제재 뚫고 1년새 10%p 급등

중국이 반도체 장비 국산화에서 예상을 뛰어넘는 성과를 거두고 있다. 2025년 한 해 동안 중국 반도체 제조 장비 자급률이 25%에서 35%로 10%포인트나 급등하며 중국 정부가 설정한 목표치 30%를 앞질렀다고 홍콩 사우스차이나모닝포스트(SCMP)가 9일(현지시각) 보도했다.
특히 식각(에칭)과 박막 증착 같은 핵심 공정 분야에서는 국산 장비 채택률이 40%를 넘어서며 미국 주요 업체 의존도가 빠르게 줄어들고 있다.


중국 언론 지엠뉴스에 따르면, 중국 반도체 산업은 2025년 초 어플라이드머티어리얼즈, 램리서치, KLA 등 미국 경쟁사보다 중국 현지 공급업체를 우선 채택하도록 30% 목표치를 세웠다. 그러나 실제 성과는 이를 5%포인트 웃도는 35%를 기록했다.

중국 장비업체들의 기술 진전은 구체적 성과로 나타나고 있다. 어드밴스드 마이크로 패브리케이션(AMEC)이 제작한 5나노미터급 식각 장비가 대만 반도체 제조업체의 첨단 공정 라인 검증 단계에 들어갔다. 나우라테크놀로지그룹의 산화·확산로는 중국 최대 파운드리업체인 SMIC의 28나노미터 생산 라인에서 60% 이상 비중을 차지했으며, 나우라의 주문 잔고는 2027년 1분기까지 쌓여 있는 상황이다.
피오텍은 양쯔메모리테크놀로지의 3D 낸드 생산 라인에서 플라즈마 강화 화학 기상 증착 장비 비중을 15%에서 30%로 두 배 늘렸다. 업계에서는 이러한 움직임이 2022년 미국 정부가 중국을 겨냥한 반도체 장비 수출 제한 조치를 시행한 뒤 중국 기업들이 자체 공급망 구축에 총력을 기울인 결과로 분석하고 있다.




중국 정부는 반도체 장비 국산화를 강력하게 밀어붙이고 있다. 중국집적회로산업투자기금(빅펀드) 3단계는 역대 최대 규모인 3440억 위안(약 71조 원)의 자본금을 조성하여 투자를 집행하고 있다. 식각 장비와 노광 시스템의 핵심 부품 연구개발이 주요 목표다. 중국 산업정보기술부는 웨이퍼 제조 생산 라인에 중국산 장비를 도입하는 기업에 최대 15%의 조달 보조금을 제공하고 있다.
중국 정부는 신규 반도체 제품 개발업체들에 최소 50%의 장비를 중국 내에서 조달해야 한다는 명시적 의무를 부과했다. 이런 정책적 뒷받침 속에 중국 투자자들은 핵심 반도체 장비 공급업체에 자금을 집중시키고 있다. 피오텍의 상하이 주가는 지난 1년간 150% 급등했고, 나우라는 75%, 어드밴스드 마이크로 패브리케이션은 85% 상승했다.

글로벌 반도체 산업 협회인 SEMI는 중국이 2027년까지 세계 최대 반도체 장비 시장 지위를 유지할 것으로 전망했다. 중국의 기존 및 첨단 제조 공정에 대한 지속적인 자본 투자가 이어지고 있기 때문이다. 증권가에서는 중국의 빠른 장비 국산화가 한국과 미국, 일본 등 주요 반도체 장비 제조국의 대중국 수출에 장기적 영향을 미칠 것으로 보고 있다.


박정한 글로벌이코노믹 기자 park@g-enews.com