한미반도체, 'AI 연구본부' 신설…HBM4용 TC본더에 AI기술 적용

한미반도체는 AI기반 반도체 장비 경쟁력 강화를 위해 'Ai 연구본부'를 신설했다고 18일 밝혔다.
한미반도체는 2022년부터 소프트웨어 연구본부 산하에서 AI 기술 개발을 추진해온 조직을 AI 연구본부로 독립시켰다. 기존 AI 전문 인력에 신규 인재를 영입해 약 150명 규모다.

한미반도체는 AI 기술을 실제 장비에 적용하며 성과를 내고 있다. 지난해 AI 기반 장비 자동세팅 기술인 FDS를 특허 출원했다. FDS는 스트립과 트레이를 장비에 넣기만 하면 얼라인마크 인식부터 리포트 생성까지 전 과정을 자동으로 처리해준다. 기존에는 숙련된 엔지니어가 약 8시간에 걸쳐 수작업으로 진행했지만 FDS 도입 시 약 35분 만에 작업이 완료된다.

AI를 활용한 비전 검사와 옵셋 예측 기술도 개발됐다. 옵셋은 반도체 공정에서 목표 위치와 실제 위치 간의 오차를 의미하는 것으로 AI 기술을 통해 장비 정밀도와 품질 안정성을 높이고 있다.
AI 기술은 장비 뿐 아니라 전사적 업무 영역으로도 확대 중이다. 한미반도체는 출장보고서 데이터를 AI에 학습시켜 장비 이력 분석과 고장 진단을 지원하는 'AI 어시스턴트'도 구축할 예정이다. 이를 통해 현장 엔지니어의 경험과 노하우를 체계화하고 의사결정 속도도 높인다는 계획이다.

'마이크로 쏘 앤 비전플레이스먼트 6.0 그리핀(MSVP 6.0 Griffin)' 장비에 적용된 AI 기반 FDS와 비전 기술은 'TC 본더 4' 등 신제품에도 확대 적용될 예정이다. 향후 출시될 2.5D 빅다이 TC 본더, 빅다이 FC 본더 등에도 업그레이드된 AI 기능이 도입된다.

한미반도체 관계자는 "Ai 연구본부를 통해 글로벌 반도체 장비 시장에서 경쟁력을 더욱 강화해 나갈 것"이라며 "지속적인 연구개발과 투자를 이어가겠다"고 말했다.


장용석 글로벌이코노믹 기자 jangys@g-enews.com